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青島凈化工程
青島凈化工程的溫度和濕度主要根據您的加工工藝要求來(lái)決定。在滿(mǎn)足加工工藝的條件下,應以人的舒適性為主要選擇。隨著(zhù)青島凈化工程空氣潔凈度要求的提高,過(guò)程中對溫度和濕度的要求越來(lái)越高,達到一定的溫度和濕度等。例如,在大規模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,要求作為掩膜材料的玻璃和硅片的熱膨脹系數之差越來(lái)越小。對于直徑為100um的硅片,溫度上升1度,引起0.24um的線(xiàn)膨脹,所以有0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值低,因為人出汗后,會(huì )對產(chǎn)品造成污染,尤其是怕鈉的半導體車(chē)間,這個(gè)車(chē)間不要超過(guò)25度。
青島凈化工程濕度過(guò)大會(huì )導致更多問(wèn)題。當相對濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁會(huì )發(fā)生冷凝。如果發(fā)生在精密器件或電路中,會(huì )引起各種事故。當相對濕度為50%時(shí),容易生銹。
青島凈化工程中控制溫濕度的具體措施是什么?
但是,對于大多數清潔空間,為了防止外部污染侵入,需要保持內部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。壓差的保持應符合以下原則:
1.高潔凈度空間的壓力高于相鄰低潔凈度空間的壓力。
2.相通潔凈室之間的門(mén)應該向低潔凈度的房間敞開(kāi)。
3.青島凈化工程潔凈空間的壓力高于不潔凈空間。
壓差的維持取決于新風(fēng)量,新風(fēng)量可以補償在此壓差下從縫隙中漏出的風(fēng)量。因此,壓差的物理意義是青島凈化工程中通過(guò)各種縫隙的泄漏(或滲透)氣流的阻力。
對于青島凈化工程來(lái)說(shuō),空氣稀釋是減少室內污染的主要途徑,因此主要采用通風(fēng)頻率的概念,而不是直接采用速度的概念。但是,室內氣流速度也有以下要求;
1.送風(fēng)口出口處的風(fēng)速不應過(guò)高。與空調房間相比,要求速度衰減更快,擴散角更大。
2.空氣流過(guò)水平面的速度(如側線(xiàn)輸送時(shí)的回流速度)不宜過(guò)高,以免吹爆表面顆粒,回到空氣流中,造成二次污染。該速度不應為0.2m/s。
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